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便攜式三維形貌儀包含一個手持式光學(xué)測量頭和便攜式電腦，在5mm ?5mm范圍內(nèi)對x及y方向各進行高達1500次的測量，從而得出平均數(shù)值及標(biāo)準(zhǔn)偏差。

自動變焦三維表面形貌測量儀InfiniteFocus G5是奧地利Alicona公司研發(fā)生產(chǎn)的集微型三坐標(biāo)測量和表面形貌測量于一體的光學(xué)測量系統(tǒng)。